9博体育官网电子级硫酸生产方法本发明公开了一种电子级硫酸生产方法，依次包括如下步骤：提供工业级的三氧化硫原料进入原料储槽；上述三氧化硫原料输送进入蒸发槽内；对蒸发槽加热9博体育官网9博体育9博体育官网入口网址，加热产生的三氧化硫蒸汽经过过滤器后进入吸收塔；在吸附塔内用电子级超纯水对三氧化硫蒸汽进行吸收，控制吸收液的浓度9博体育app官网入口9博体育官网，吸收后的溶液经过冷却器冷却后进入脱气塔；脱气塔采用压缩空气对硫酸溶液进行吹脱9博体育全站app9博体育官网入口网址9博体育9博体育官网，而后再经过冷却后进入成品储槽；最后经过超滤去除颗粒后得到最终的应用于集成电路行业的电子级硫酸。跟现有工艺相比9博体育官网9博体育官网入口网址9博体育9博体育官网入口网址，本发明工艺的操作温度低于120℃9博体育官网9博体育全站app9博体育官网9博体育官网，因此比要工业级硫酸作为原料高温蒸馏工艺要安全9博体育9博体育app官网入口9博体育app官网入口9博体育官网，另外9博体育官网9博体育官网入口网址9博体育官网入口网址9博体育，因此对比采用石英玻璃设备从设备材质上保证了不会给电子级硫酸产品带来污染9博体育全站app9博体育。